離子去膠機

離子去膠機 型號：PR-3

離子去膠機 

通過等離子體方法，對陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進行干法去除。設備為單室真空系統，主要由真空系統、氣路系統、電氣系統、射頻電源系統、控制系統、冷卻系統、報警系統等部分組成。 
射頻電源采用RF500W電源控制。 
氣路系統采用兩臺浮子流量計控制氣體進氣。
  腔室結構：臥式、純石英
  真空室規格：F210´300mm
  限真空：1Pa（環境濕度≤55%）
  真空系統:機械泵
  大裝片直徑: F4英寸
   大裝片容量：4英寸 25片/爐
  去膠速率: ～500A/min
  去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內)
  操作方式:手動方式
用戶可選配全自動控制方式

通過等離子體方法，對陶瓷片、硅片等襯底材料圖形上的光刻膠進行干法去除。設備為單室真空系統，主要由真空系統、氣路系統、電氣系統、射頻電源系統、控制系統、冷卻系統、報警系統等部分組成。 
射頻電源采用RF500W電源控制。 
氣路系統采用兩臺浮子流量計控制氣體進氣。
  腔室結構：臥式、純石英
  真空室規格：F210´300mm
  限真空：1Pa（環境濕度≤55%）
  真空系統:機械泵
  大裝片直徑: F4英寸
   大裝片容量：4英寸 25片/爐
  去膠速率: ～500A/min
  去膠不均勻性：≤±5％ (φ4吋范圍內)
  操作方式:手動方式
用戶可選配全自動控制方式

產品名稱：電子皂膜流量計 產品型號：BL100

電子皂膜流量計 型號：BL100

應用領域：于任何氣體或液體流量的檢測，廣泛應用于各類實驗室氣體流量的校準，包括大氣采樣器的流量校準、粉塵采樣器的流量校準，玻璃轉子流量計的校準，以及各類色譜儀的流量測定。
 
產品描述：
BL系列電子皂膜流量計通過其內部的電路控制單元與敏感元件相結合來測量氣體流量，其精度大大優于用眼與手掐秒表測定氣體流量的做法，是取代手持式皂膜管加秒表的Z佳選擇。該系列電子皂膜流量計液晶顯示，具有溫度、壓力、容積的校正功能，用戶通過現場自我校正，可得出被測氣體的體積流量，可單次測定氣體流量，也可以對流量測定十次后取平均值。
技術參數：
Ø 測量范圍：0.1mL～100mL/min 
Ø 測量精度：△Q﹤±1％。
Ø 測量方式：濕式 
Ø 時間范圍：0.1～1200.0s(內部計算精確到0.01秒)。
Ø 內裝標稱值為8.4V、1200mA/h的充電電池，充滿電后待機時間﹥300小時。
充電次數﹥500次。
Ø 使用環境：0～45℃；0～70%RH（無結露）
Ø 重量：約950 g